Boksen met tindruppels
Onderzoek naar de versnelling en vervorming van microscopisch kleine tindruppeltjes door een intense laserpuls leidt tot de eerste wetenschappelijke publicatie van het Advanced Research Center for Nanolithography (ARNCL), in samenwerking met de Universiteit Twente en ASML. Zulke tindruppeltjes worden in de nieuwste apparaten van de chipmachinefabrikant ASML gebruikt om extreem ultraviolet (EUV) licht op te wekken. De onderzoekers publiceren hun bevindingen op 29 juli 2016 in het tijdschrift Physical Review Applied.
Go back to the news overview